MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。SiTime的硅振荡器就是以硅为原料、基于MEMS技术集成的一种取代现有石英晶体的频率元器件。
自从1940 年中期以来石英晶体在精确频率源器件中占据主导地位. 石英具有非凡的机械和压电特性, 使得从19 世纪40 年代中期以来一直作为基本的时钟器件. 尽管在陶瓷, 硅晶和RLC电路方面有60 多年的研究, 在此之前没有哪种材料或技术能替代石英振荡器, 鉴于其异常的温度稳定性和相位噪声特性. 估计2006 年将有100亿颗石英振荡器被制造出来并放置到汽车, 数码相机, 工业设备, 游戏设备, 宽带设备,蜂窝电话, 以及事实上每一种数字产品当中。
四十年MEMS振荡器的研究成果将使这种状况该发生改变. 替代石英振荡器遗留的技术障碍已经得以解决。SiTime硅振荡器的问世，已经将传统的石英振荡器暴露出来的问题一一得到很好的解决。